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emmi微光显微镜

微光显微镜（emission microscope， emmi）是常用漏电流路径分析手段。对于故障分析而言，微光显微镜（emission microscope， emmi）是一种相当有用且效率---的分析工具。主要侦测ic内部所放出光子。在ic元件中，ehp（electron hole pairs）recombination会放出光子（photon）。如在p-n结加偏压，此时n阱的电子很容易扩散到p阱，而p的空穴也容易扩散至n，精细研磨设备价格，然后与p端的空穴（或n端的电子）做ehp recombination。在故障点定位、寻找近红外波段发光点等方面，微光显微镜可分析p-n接面漏电；p-n接面崩溃；饱和区晶体管的热电子；氧化层漏电生的光子激发；l---h up、gate oxide defect、junction leakage、hot carriers effect、esd等问题.

其实利用在检测芯片的过程当中，其实这种方法是非常有效的，关于emmi分析国内目前的技术通常已经达到了要求，在对芯片进行检测过程当中，精细研磨机器，利用微光显微镜它的效果通常是非常明显的。比如说如果说亮点被遮掩的过程当中采用的是利用---红波的发光，通过抛光的处理来进行探测，这样才能够有效的去发现金属归沉寂的有效缺陷。