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所谓的微焦点x射线机是焦点尺寸可以达到几个微米，并且能够在0～225kv或更高恒电压模式下，以一定的功率（通常高为320w）连续工作的x射线机。 微焦点x射线机的焦点尺寸通常可以连续可调，从几微米直到0.2毫米或更高。

与常规x射线管相同，微焦点x射线管的阳极也是用循环油或水来冷却。 与常规x射线机不同的是，用于无损检测的微焦点x射线管是用真空泵来维持x射线管内的真空度（约为10-7）。 微焦点x射线管可以很方便的打开（即开放式或称为开管），泄漏检测价格，用来更换不同的靶材以产生不同的x射线频谱；更换不同形状及大小的x射线窗口；以及更换阳极的类型… 如换上各种直径和长度的棒阳极，以满足不同检测任务的需要。 这些阳极棒的长度可达1500毫米，直径可从18毫米一直小到4毫米。使用如此小的棒阳极，我们可以用单壁内透照方式，以的缺陷检测灵敏度进行射线检测。

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