电子元器件失效分析-元器件失效分析-特斯特

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漏气检测

设备型号：德国inficon/ul5000及法国adixen/asm192td+

主要技术参数：

1、测量范围（pa·m3/s）：1×10-2～5×10-13

2、检漏口对---气的抽速：30m3/h

3、双灯丝180°磁偏转质谱室

4、检测压力范围0～30mpa

用途：具备真空、吸等多种检测模式，可开展---质谱真空检漏、正压检漏；并具备针对密封元器件的背压法检漏能力，进行粗检及细检；可有效检测出被检件材料、焊缝、螺接、粘接、内密封等存在的贯穿型通道（漏孔）并可定位、定量。同时实验室具备十万级洁净检测环境。