侦测到亮点之情况；
会产生亮点的缺陷：1.漏电结；2.解除毛刺；3.热电子效应；4闩锁效应； 5氧化层漏电；6多晶硅须；7衬底损失；8.物理损伤等。 侦测不到亮点之情况 不会出现亮点之故障：1.亮点位置被挡到或遮蔽的情形（埋入式的接面及 大面积金属线底下的漏电位置）；2.欧姆接触；3.金属互联短路；4.表面 反型层；5.硅导电通路等。
点被遮蔽之情况：埋入式的接面及大面积金属线底下的漏电位置，这种情 况可采用backside模式，精细研磨机器，但是只能探测近红外波段的发光，且需要减薄及 抛光处理。
对于故障分析而言，微光显微镜(emission microscope， emmi)是一种相当有用且效率---的分析工具。主要侦测ic内部所放出光子。在ic元件中，ehp(electron hole pairs) recombination会放出光子(photon)。举例说明：在p-n 结加偏压，此时n阱的电子很容易扩散到p阱，而p的空穴也容易扩散至n然---与p端的空穴（或n端的电子）做 ehp recombination。
在红外光显微镜中通常使用白炽灯照明，很多白炽灯能够发射比可见光更多的红外光，在这里色温是一个重要的参数。当灯丝的温度为24000k时，精细研磨，大发射是在光谱的1200nm处左右。当温度为33000k时，大发射在光谱的800nm处左右。使用特殊的滤光片就可以分离出所要求波长的红外线。红外光像的观察和---可以使用像转换器或专门设计的电视扫描管来进行。用于红外光显微镜的像转换器有两种类型，另一种是“固体”类型，精细研磨机，它是由一个光电导体层和一个电子发光层所组成，精细研磨设备，这两者被夹在可以提供交流电的两层薄透明导体层之间。相当于真空管阳极的电子发光层，对着光电导体层已经被红外光辐射轰击的区域发射可见光，从而形成了可见的像。另外，已经设计制造出对直到3，500n m波长范围都敏感的电视管。在红外光显微照相中可以使用经过特殊敏感化处理的乳胶片，它在直到大约1300nm较低的红外光区域都是敏感的。
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