超声波扫描显微镜原理；利用脉冲回波的性质，激励压电换能器发射出多束通过耦合液介质传递到被测样品，在经过不同介质时会发生折射、反射等现象，精细研磨，通过阻抗不同的材料时会发生波形相位、能量上的变化等现象，经过一系列数据计算形成灰度值图片，可用来分析样品内部状况。作为无损检测分析中的一种，精细研磨机器，它可以实现在不破坏物料电气能和保持结构完整性的前提下对物料进行检测。被广泛的应用在物料检测（iqc）、失效分析（fa）、破坏性物理分析（dpa）、---性分析、元器件二次筛选、控制(qc)、及---性(qa/rel)、研发(r&d)等领域。
超声波扫描显微镜特点：非破坏性、对样品无损坏。分辨率高，可确定缺陷在样品内部的准确位置。工作方式按接收信息模式可分为反射模式与透射模式。按扫描方式分可分为 c扫，b扫，x扫，精细研磨设备，z扫，分焦距扫描，分波长扫描等多种方式。二次打标假l冒识别塑封器件二次打标可用于塑封元器件表面标识的假l冒识别，精细研磨机，通过对期间标识层的多层扫描可发现二次打标痕迹。
对于故障分析而言，微光显微镜(emission microscope， emmi)是一种相当有用且效率---的分析工具。主要侦测ic内部所放出光子。在ic元件中，ehp(electron hole pairs) recombination会放出光子(photon)。举例说明：在p-n 结加偏压，此时n阱的电子很容易扩散到p阱，而p的空穴也容易扩散至n然---与p端的空穴（或n端的电子）做 ehp recombination。
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